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华力12英寸先进生产线建设项目首台工艺设备搬入


  经过近17个月的努力,2018年5月21日,上海华力集成电路制造有限公司12英寸先进生产线建设项目迎来重要节点,实现首台工艺设备光刻机搬入,标志着项目从基建阶段正式进入试生产准备阶段。

  

 

  本次仪式由上海华力集成电路制造有限公司总经理唐均军简单介绍了项目情况,并宣布仪式开始。上海市经信委副主任傅新华、十一科技董事长赵振元、上海建工总裁卞家骏、ASML全球执行副总裁Ron?Kool、上海振南工程咨询监理有限责任公司总经理周林等各参建单位领导参加仪式。

   

 

   上午9点35分,伴随着华宏集团董事长张素心一声“华力12英寸先进生产线建设项目光刻机正式搬入”的宣布,第一台工艺设备顺利搬入厂房,这台工艺设备为荷兰ASML阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。未来5个月,将有300多套工艺设备陆续搬入安装调试,年底前完成生产线串线并实现试流片。

   光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为,用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机。在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,从而得到刻在硅片上的线路图。简单地说,就是将芯片设计的图形从掩模版上“转移”到涂在硅片表面的光刻胶上。

  

 

    华力12英寸先进生产线建设项目首台工艺设备的搬入,标志着将康桥工业园南区打造为上海集成电路产业发展新基地取得了阶段性胜利,这对上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》,同时对上海建设先进制造业的产业集群高地,打响“上海制造”品牌有着重要意义。

华宏集团董事长张素心(右三)、十一科技董事长赵振元(左三)、上海建工总裁卞家骏(右二)、上海华力集成电路制造有限公司总经理唐均军(左二)、上海振南工程咨询监理有限责任公司总经理周林(右一)等领导亲切合影

 

上海华力集成电路制造有限公司总经理唐均军与上海振南工程咨询监理有限责任公司总经理周林(左一)、泛林半导体设备技术(上海)有限公司亚太地区董事长廖振隆会后亲切交谈

 

华宏集团董事长张素心、上海华力集成电路制造有限公司总经理唐均军、上海华力集成电路制造有限公司张悦总监、上海振南工程咨询监理有限责任公司总经理周林、副总经理王峻毅、上海机电工业工程监理有限公司总经理戴广海与项目监理组成员亲切合影